특허법원 2021. 9. 9. 선고 2020허6965 판결 [취소결정(특)]

주문과 같다.

1. 기초 사실

가. 원고의 이 사건 특허발명(갑 제1, 2, 6호증)

1) 발명의 명칭: 부상식 도포 장치

2) 우선권주장일/ 출원일/ 등록일/ 등록번호: 2011. 3. 16./ 2012. 3. 15./ 2019. 2. 20./ 제1952444호

3) 특허청구범위(2020. 7. 7. 정정청구에 의한 것으로, 밑줄 친 부분이 정정된 부분이다)
【청구항 1】 연결되어 배치되는 물리적으로 분리 가능한 제1 및 제2 스테이지 블록에 러프 부상 영역 및 정밀 부상 영역을 각각 탑재하고, 상기 제2 스테이지 블록에 탑재된 상기 정밀 부상 영역에서는 기판을 도포 처리하기 위한 정밀한 제1 부상 높이에서 공중에 띄우고, 상기 제1 스테이지 블록에 탑재된 상기 러프 부상 영역에서는 상기 기판을 제1 부상 높이보다도 크게 하여 러프한 제2 부상 높이에서 공중에 뜨게 하고, 상기 제1 부상 높이에서의 부상 강성은 상기 제2 부상 높이에서의 부상 강성보다 크게 설정되어 있는부상 스테이지(이하 ‘구성요소 1’이라 한다)와, 상기 기판을 착탈 가능하게 보유 지지하여 상기 러프 부상 영역 및 상기 정밀 부상 영역의 순서대로 상기 부상 스테이지 상을 반송하는 기판 반송부(이하 ‘구성요소 2’라 한다)와, 상기 정밀 부상 영역 내의 소정 위치에서 상기 제1 부상 높이에서 떠 있는 상기 기판의 피처리면을 향해 도포용 처리액을 토출하는 장척형의 노즐을 갖는 처리액 공급부(이하 ‘구성요소 3’이라 한다)를 갖고, 상기 러프 부상 영역에서는 오로지 상기 기판에 수직 상향의 압력을 부여하기 위한 기체를 분출하는 분출구를 다수 배치하고, 상기 정밀 부상 영역에서는 오로지 상기 기판에 수직 상향의 압력을 부여하기 위한 기체를 분출하는 분출구와 상기 기판에 수직 하향의 압력을 부여하기 위한 기체를 흡입하는 흡입구를 일정한 밀도 또는 배치 패턴으로혼재시켜 다수 배치(이하 ‘구성요소 4’라 한다)하고, 상기 제1 및 제2 스테이지 블록을 독립적으로 운반 가능한 제1 및 제2 가대에 각각 설치(이하 ‘구성요소 5’라 한다)하고, 상기 제2 스테이지 블록의 상기 제1 스테이지 블록과 접하는 단부 부근에, 상기 정밀 부상 영역과 인접하여 상기 제1 부상 높이보다도 한층 높고 상기 제2 보상 높이보다 낮은제3 부상 높이(Hp)에서 상기 기판을 뜨게 하는 밀어 올림 부상 영역을 형성하고(여기서, 제3 부상 높이(Hp)는 상기 제1 스테이지 블록과 상기 제2 스테이지 블록과의 경계 부근의 상기 기판의 부상 높이임), 상기 밀어 올림 부상 영역에서는 상기 러프 부상 영역의 분출 압력보다 높은 분출 압력으로 오로지 상기 기판에 수직 상향의 압력을 부여하기 위한 기체를 분출하는 분출구만을다수 배치(이하 ‘구성요소 6’이라 한다)하고, 상기 기판을 상기 제1 스테이지 블록 및 상기 제2 스테이지 블록의 순서로 부상 높이를 변화시키면서 반송할 때에, 상기 기판의 부상 높이가 상기 제1 스테이지 블록과 상기 제2 스테이지 블록의 경계보다 상류측 위치에서 상기 제2 부상 높이로부터 상기 제2 스테이지 블록의 상기 제1 부상 높이로 굽혀지도록 내려지기 시작하여 상기 경계 부근에서 상기 기판의 부상 높이가 상기 제3 부상 높이(Hp)가 되도록, 상기 밀어 올림 부상 영역에서의 분출 압력이 상기 정밀 부상 영역의 분출 압력보다 높게 설정되고, 상기 제1 스테이지 블록과 상기 제2 스테이지 블록의 경계의 단차가 상기 밀어 올림 부상 영역의 제3 부상 높이(Hp)보다 작은(이하 ‘구성요소 7’이라 한다), 부상식 도포 장치(이하 ‘정정 후 청구항 1’이라 하고, 정정 전 청구항 1 기재 발명을 ‘정정 전 청구항 1’이라 하며, 나머지 청구항 기재 발명에 대하여도 같은 방법으로 부른다).
【청구항 5】 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 가대의 적어도 한쪽에, 상기 스테이지 블록의 부상면의 높이 위치를 조정하는 높이 위치 조정부를 구비하는, 부상식 도포 장치.
【청구항 6】 연결되어 배치되는 물리적으로 분리 가능한 제1 및 제2 스테이지 블록에 정밀 부상 영역에 및 러프 부상 영역을 각각 탑재하고, 상기 제1 스테이지 블록에 탑재된 상기 정밀 부상 영역에서는 기판을 도포 처리하기 위한 정밀한 제1 부상 높이에서 공중에 띄우고, 상기 제2 스테이지 블록에 탑재된 상기 러프 부상 영역에서는 상기 기판을 상기 제1 부상 높이보다도 크게 하여 러프한 제2 부상 높이에서 공중에 뜨게 하고, 상기 제1 부상 높이에서의 부상 강성은 상기 제2 부상 높이에서의 부상 강성보다 크게 설정되어 있는부상 스테이지와, 상기 기판을 착탈 가능하게 보유 지지하여 상기 정밀 부상 영역 및 상기 러프 부상 영역의 순서대로 상기 부상 스테이지 상을 반송하는 기판 반송부와, 상기 정밀 부상 영역 내의 소정 위치에서 상기 제1 부상 높이에서 떠 있는 상기 기판의 피처리면을 향해 도포용 처리액을 토출하는 장척형의 노즐을 갖는 처리액 공급부를 갖고, 상기 러프 부상 영역에서는 오로지 기판에 수직 상향의 압력을 부여하기 위한 기체를 분출하는 분출구를 다수 배치하고, 상기 정밀 부상 영역에서는 오로지 상기 기판에 수직 상향의 압력을 부여하기 위한 기체를 분출하는 분출구와 상기 기판에 수직 하향의 압력을 부여하기 위한 기체를 흡입하는 흡입구를 일정한 밀도 또는 배치 패턴으로혼재시켜 다수 배치하고, 상기 제1 및 제2 스테이지 블록을 독립적으로 운반 가능한 제1 및 제2 가대에 각각 설치하고, 상기 제1 스테이지 블록의 상기 제2 스테이지 블록과 접하는 단부 부근에, 상기 정밀 부상 영역과 인접하여 제1 부상 높이보다도 한층 높고 상기 제2 부상 높이보다 낮은제3 부상 높이(Hq)에서 상기 기판을 뜨게 하는 밀어 올림 부상 영역을 형성하고(여기서, 제3 부상 높이(Hq)는 상기 제1 스테이지 블록과 상기 제2 스테이지 블록과의 경계 부근의 상기 기판의 부상 높이임), 상기 밀어 올림 부상 영역에서는 상기 러프 부상 영역의 분출 압력보다 높은 분출 압력으로 오로지 상기 기판에 수직 상향의 압력을 부여하기 위한 기체를 분출하는 분출구만을다수 배치하고, 상기 기판을 상기 제1 스테이지 블록 및 상기 제2 스테이지 블록의 순서로 부상 높이를 변화시키면서 반송할 때에, 상기 기판의 부상 높이가 상기 제1 스테이지 블록과 상기 제2 스테이지 블록의 경계보다 하류측 위치에서 상기 제2 부상 높이로부터 상기 제1 스테이지 블록의 상기 제1 부상 높이로 굽혀지도록 내려지기 시작하여 상기 경계 부근에서 상기 기판의 부상 높이가 상기 제3 부상 높이(Hq)가 되도록, 상기 밀어 올림 부상 영역에서의 분출 압력이 상기 정밀 부상 영역의 분출 압력보다 높게 설정되고, 상기 제1 스테이지 블록과 상기 제2 스테이지 블록의 경계의 단차가 상기 밀어 올림 부상 영역의 제3 부상 높이(Hq)보다 작은, 부상식 도포 장치.
【청구항 10】 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 가대의 적어도 한쪽에, 상기 스테이지 블록의 부상면의 높이 위치를 조정하는 높이 위치 조정부를 구비하는, 부상식 도포 장치.
【청구항 2~4, 7~9, 11, 12】 (삭제)

4) 주요 내용

■ 기술 분야, 배경기술 및 해결하고자 하는 과제 ⁰⁰⁰¹⁾ 본 발명은 기판을 스테이지 상에서 부상 반송하면서 기판 상에서 처리액을 도포하는 부상 방식의 도포 장치에 관한 것이다. [0005, 0006, 0014, 0015] 부상 방식의 레지스트 도포 장치에 사용되고 있는 부상 스테이지의 상면은 반송 방향을 따라서 반입 영역, 도포 영역, 반출 영역으로 구획되어 있는데, 도포 영역은 분출구와 흡인구를 다수 혼재시켜 기판을 정밀한 작은 부상 높이에서 띄우는 부분이다. 부상 스테이지는 다수의 스테이지 블록이 이어지면서 조립되는데, 각 스테이지 블록의 높이 위치를 정렬하거나, 재조정하는데 많은 시간과 비용이 소요된다. 본 발명은 부상 스테이지에서 각 스테이지 블록의 경계에서 생기는 단차의 허용도를 크게 하여 부상면의 높이 위치 조정 작업을 간편하게 행하고, 작업의 안전성 및 신뢰성을 개선하고자 하는 것이다. ■ 주요 기술 내용 [0025~0026] 부상 스테이지(10)는 길이 방향을 따라서 물리적으로 분리 가능한 3개의 스테이지 블록(SBA, SBB, SBC)으로 분할되어 있다. 각 스테이지 블록의 각 이음매가 실질적으로 산극이 없는 접촉 상태로 되도록 조립된다. 가장 상류측의 스테이지 블록(SBA)과 하류측의 스테이지 블록(SBC)은 분출구(12)만을 일정한 밀도 또는 배치 패턴으로 다수 배치한 제1, 2 러브 부상 영역이 형성된다. 가운데의 스테이지 블록(SBB)은, 양단부는 분출구(12)만을 일정한 밀도 또는 배치 패턴으로 형성하여 밀어 올림 부상 영역을 형성하고, 그 사이에는 분출구(12)와 흡인구(14)를 일정한 밀도 또는 배치 패턴으로 혼재하여 다수 배치한 정밀 부상 영역을 형성한다. 도 1. 장치 전체의 측면도 도 2. 각 스테이지의 평면도

[0056~0059] 도포용 스테이지 블록(SBB)의 시단부에 기판 충돌 방지 영역(밀어 올림 부상 영역)이 형성된다. 이 영역에서는 분출구(12)만 배치되고, 그 분출 압력은 도포 영역 상의 분출 압력보다 높고, 반입용 스테이지 블록 상의 분출 압력보다 높다. 도 11에 도시된 바와 같이, 반입용 스테이지 블록이 도포용 스테이지 블록보다 높게 단차진 경우에도, 밀어 올림 부상 영역 상에서 강한 압력으로 기판을 밀어 올림으로써 기판이 단차에 부딪히지 않고 도포 영역으로 진입할 수 있게 한다. [0060~0066] 도포용 스테이지 블록(SBB)의 말단부에도 기판 충돌 방지 영역(밀어 올림 부상 영역)이 형성된다. 이 영역 또한 분출구(12)만 배치되고, 그 분출 압력은 도포 영역 상의 분출 압력보다 높다. 도 15에 도시된 바와 같이, 반출용 스테이지 블록이 도포용 스테이지 블록보다 높게 단차진 경우에도, 밀어 올림 부상 영역 상에서 강한 압력으로 기판을 밀어 올림으로써 기판이 단차에 부딪히지 않고 반출 영역으로 빠져나갈 수 있게 된다. 도 11. 도포 영역이 낮게 단차질 때 해결방법 도 15. 반출 영역이 높게 단차질 때 해결방법

나. 선행발명들

1) 선행발명 1(갑 제7호증)

2006. 8. 24. 공개된 일본공개특허공보 2006-222209호에 게재된 ‘부상식 도포장치’에 관한 것으로, 주요 기술 내용 및 도면은 다음과 같다. ⁰⁰⁰¹⁾ 반도체 기판, 액정 기판 등 기판을 에어 부상식으로 반송하는 반송장치에 관한 것이다. [0018] 에어 부상 유닛(11)의 제1 실시예는 다음과 같이 구성될 수 있다. 평면기판(10)의 아래에 배치된 에어 부상 유닛(11)으로부터 에어를 분출하여 평면기판(10)을 부상시킨다. 반송방향(A)의 끝부분(11a)에 반송방향과 역방향으로 경사진 노즐(12)을 배치하여 평면기판의 부상량을 크게 할 수 있다. [0019] 제2 실시예는 다음과 같이 구성될 수 있다. 에어 부상 유닛(11)의 에어 분출 노즐(13)을 수직 방향으로 형성하되, 반송방향과 역방향으로 경사진 분출노즐(12)을 에어 부상 유닛(11) 외부에 별도로 설치하여 평면기판의 부상량을 크게 할 수 있다. [0021] 제3 실시예는 다음과 같이 구성될 수 있다. 에어 부상 유닛(11)의 에어 분출 노즐(13)을 수직 방향으로 형성하되, 반송방향(A)의 끝부분(11a)에 형성된 노즐(30)의 직경을 크게 하여 이 지점에서의 평면기판의 부상량을 크게 할 수 있다. 도 1. 제1 실시예 도 2. 제2 실시예 도 3. 제3 실시예

2) 선행발명 2(갑 제8호증)

2007. 4. 24. 공개된 공개특허공보 10-2007-0042876호에 게재된 ‘도포 장치’에 관한 것으로서, 주요 기술 내용 및 도면은 다음과 같다. 기판은 스테이지를 따라 연속적으로 이동하면서 그 표면에 레지스트가 도포된 후 반출된다. 반송 방향을 따라 각 스테이지는 반입영역(M1), 도포영역(M3), 반출영역(M5)으로 구분될 수 있다. 반입영역(M1)은 기판이 진입하는 영역으로 100~150㎛ 정도의 부상 높이로 유지되는데, 높이 유지에 아주 높은 정밀도를 요하지는 않는다. 반출영역(M5)은 레지스트가 도포된 기판이 반출되는 영역으로서, 반입영역(M1)과 마찬가지로 100~150㎛ 정도의 부상 높이로 유지되는데, 높이 유지에 아주 높은 정밀도를 요하지는 않는다. 도포영역(M3)은 레지스트가 도포되는 영역으로서 기판의 부상 높이는 50㎛ 정도에서 높은 정밀도로 유지될 필요가 있다. 이에 도포영역(M3)에는 에어가 분출되는 분출구(88)와 흡인구(90)를 함께 배치하여 부상력과 흡인력의 균형을 통해 높이를 정밀하게 유지할 수 있도록 한다. 반입영역(M1)과 도포영역(M3)의 경계는 천이영역(M2)으로서, 분출구와 흡인구를 혼재시켜 배치할 수 있다. 이 경우 흡인구의 밀도를 반송 방향을 따라 차츰 크게 할 수도 있고, 때로는 흡인구를 포함하지 않고 분출구만 마련하는 것도 가능하다. [제9면 제7~39행의 기재 참조] 도 5. 레지스트 도포 유닛의 정면도 도 6. 도포 영역에서 흡인구, 분출구의 배치

3) 선행발명 3(갑 제9호증)

2009. 5. 20. 공개된 공개특허공보 10-2009-0051098호에 게재된 ‘기판 검사 장치’에 관한 것으로서, 주요 기술 내용 및 도면은 다음과 같다. 유리 기판과 같은 시트형 기판을 검사하는 기판 검사 장치에 관한 것으로서, 종래의 기판 검사 장치는 부상 스테이지를 구비한 부상 유닛과 검사 유닛 등이 일체화된 형태로 되어 있었는데, 검사 대상인 기판이 대형화됨에 따라 이송 및 설치 등이 곤란해지는 문제가 있었다. 이에 선행발명 3은 검사장치가 설치되는 부분인 검사용 부상스테이지부(2)와, 그 양단의 연장 부상스테이지부(3, 4)를 나누어 제작함으로써 간편하게 이송하고 설치할 수 있도록 한 검사장치를 제공함을 목적으로 한다. [명세서 <1>~<11>의 기재 참조] 검사용 부상스테이지부(2)에는 기판의 검사가 행해지는 부분으로서 기판의 부상 높이를 정밀하게 규제하고 유지할 필요가 있는 정밀 부상스테이지부(9A)(9B)가 포함되는데, 여기는 공기 배출구와 흡인구를 같이 두어 부상 높이를 정밀하게 조절할 수 있도록 한다. 정밀 부상스테이지부(9A)(9B)의 상류 측에는 보조 검사용 부상스테이지부(9C)를 선택적으로 추가할 수 있는데, 이 부분은 정밀 부상스테이지부와 같은 사양으로 구성해도 되고, 공기구멍의 밀도를 좀 더 적게 구성해도 좋다. 검사용 부상스테이지부(2)의 상하류 측에는 연장 부상스테이지부(3, 4)를 두는데, 이 부분은 정밀 부상스테이지부(9A)(9B)만큼의 정밀한 부상 높이 조절이 요구되지는 않으므로 그 표면에 공기 배출구만 형성되도록 구성할 수 있다. 도 1. 검사장치의 평면도

다. 이 사건 결정의 경위

1) 소외 C(이하 ‘취소신청인’이라 한다)은 2019. 8. 1. 이 사건 특허발명의 등록공고일(2019. 2. 26.)로부터 6개월 이내인 2019. 8. 1. 원고를 상대로 특허심판원에 “이 사건 특허발명의 전체 청구항은 그 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 사람(이하 ‘통상의 기술자’라 한다)이 선행발명 1 내지 4¹⁾에 의하여 용이하게 발명할 수 있어 그 진보성이 부정되므로 그 등록이 취소되어야 한다”고 주장하면서, 이 사건 특허발명에 대한 특허취소신청을 하였다(2019소66, 이하 ‘특허취소신청 사건’이라 한다).

2) 특허취소신청 사건의 심판장은 2020. 3. 18. ‘통상의 기술자가 선행발명 2에 나타난 부상 도포장치에 선행발명 1, 3, 4에 나타난 부가 구성들을 결합하여 이 사건 특허발명의 전체 청구항을 도출하는데 특별한 기술적 어려움이 없으므로, 이 사건 특허발명의 전체 청구항은 선행발명 1 내지 4의 결합에 의하여 쉽게 발명할 수 있다’는 취지로 의견제출통지(이하 ‘2020. 3. 18.자 의견제출통지’라 한다)를 하였다(갑 제4호증).

3) 이에 대하여 원고는 2020. 7. 7. ‘청구항 1, 6을 위 가.항 기재와 같이 정정하고, 발명의 상세한 설명의 기재 내용을 일부 정정하는 내용이 포함된 정정청구서(갑 제6호증)를 제출하고(이하 ‘이 사건 정정청구’라 한다)를 하고, 같은 날 ‘정정된 이 사건 특허발명과 주된 선행발명인 선행발명 2와의 차이점에 해당하는 구성은 선행발명 1, 3, 4에 개시되어 있지 않으므로 선행발명 2에 선행발명 1, 3, 4의 구성을 결합하더라도 이 사건 특허발명을 도출할 수 없으므로 진보성이 인정된다’는 내용이 담긴 의견서(갑 제5호증)를 제출하였다.

4) 특허심판원은 2020. 8. 31. ‘원고의 이 사건 정정청구는 적법하나, 정정된 이 사건 특허발명의 전체 청구항은 선행발명 1 내지 3에 의하여 진보성이 부정된다’는 이유를 들어 이 사건 특허발명의 특허를 취소하는 결정(이하 ‘이 사건 결정’이라 한다)을 하였다. [인정근거] 다툼 없는 사실, 갑 제1 내지 9호증의 각 기재, 변론 전체의 취지

2. 당사자 주장의 요지

가. 원고

1) 이 사건 결정의 취소이유는 ‘주 선행발명인 선행발명 3에 선행발명 1, 2를 결합하여 용이하게 발명할 수 있어 진보성이 부정된다’는 것인데, 2020. 3. 18.자 의견제출통지서에 기재된 취소이유는 ‘주 선행발명인 선행발명 2에 선행발명 1, 3, 4를 결합하여 용이하게 발명할 수 있어 진보성이 부정된다’는 것으로, 이는 특허취소신청 사건의 절차에서 통지된 취소이유와 주요한 취지가 부합하지 않는 새로운 취소이유를 들어 특허등록을 취소한 것이므로, 이 사건 결정은 절차상 하자가 있다.

2) 이 사건 특허발명은 선행발명 3에 선행발명 1, 2를 결합하더라도 용이하게 발명할 수 없으므로, 이와 달리 보아 이 사건 특허발명의 진보성이 부정된다고 판단한 이 사건 결정은 실체상 하자가 있다.

3) 이 사건 결정은 위와 같은 절차상, 실체상 하자가 있어 위법하므로 취소되어야 한다.

나. 피고

1) 2020. 3. 18.자 의견제출통지서에 기재된 ‘선행발명 2에 나타난 부상 도포장치에 선행발명 1, 3, 4에 나타난 부가 구성들을 결합하여 정정 전 청구항 1을 도출하는데 특별한 기술적 어려움이 없다’고 기재되어 있으나, 이는 예시적인 문구에 불과하다. 즉 위 통지서의 ‘통상의 기술자가 비교대상발명 1 내지 4의 결합으로부터 쉽게 발명할 수 있다’라는 기재에는 이 사건 특허발명이 주 선행발명을 선행발명 2로 하는 경우 뿐만 아니라 선행발명 1 또는 선행발명 3으로 하여 그 외의 다른 선행발명들을 결합하여 용이하게 발명할 수 있어 진보성이 부정된다는 취지의 취소이유가 내포되어 있는 것으로 보아야 하는 것이다. 따라서, 이 사건 결정의 이유인 ‘주 선행발명인 선행발명 3에 선행발명 1, 2를 결합함으로써 이 사건 특허발명을 용이하게 발명할 수 있다’는 점에 대하여 실질적으로 의견진술의 기회가 주어진 것으로 보아야 하고, 원고도 이를 감안하여 위 취소이유에 대하여 의견진술을 한 것으로 보아야 한다. 따라서 이 사건 결정에 절차상 하자가 있다고 할 수 없다.

2) 이 사건 특허발명은 선행발명 3에 선행발명 1, 2를 결합하여 용이하게 발명할 수 있으므로 그 진보성이 부정된다.

3) 따라서 이 사건 결정에는 절차상, 실체상 하자가 없다.

3. 이 사건 결정에 절차 위반의 위법이 있는지 여부

가. 관련 법리

1) 특허법 제132조의13 제2항은 “심판장은 특허취소결정을 하려는 때에는 특허권자 및 참가인에게 특허의 취소이유를 통지하고 기간을 정하여 의견서를 제출할 기회를 주어야 한다”고 규정하고 있다. 위와 같은 절차적 권리를 보장하는 특허법의 규정은 강행규정이므로 의견제출의 기회를 부여한 바 없는 새로운 이유를 들어서 특허등록을 취소한 결정은 위법하다. 그러나 다른 한편, 의견제출통지서에 기재된 이유와 다른 별개의 새로운 이유가 아니고 주된 취지에 있어서 의견제출통지서에 기재된 이유와 실질적으로 동일한 이유를 들어 특허등록을 취소하는 것은 허용될 뿐만 아니라, 형식적으로는 의견진술의 기회가 주어지지 아니하였어도 실질적으로는 이러한 기회가 주어졌다고 볼 수 있을 만한 특별한 사정이 있는 경우에도 절차위반의 위법은 없다고 보아야 한다.

2) 특허발명의 진보성을 판단함에 있어서, 먼저 특허발명의 청구범위와 기술사상, 선행발명의 범위와 기술내용을 확정하고, 특허발명과 가장 가까운 선행발명[이하 ‘주(主) 선행발명’이라고 한다]을 선택한 다음, 특허발명을 주 선행발명과 대비하여 공통점과 차이점을 확인하고, 그 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 사람이 특허출원 당시의 기술수준에 비추어 이와 같은 차이점을 극복하고 특허발명을 쉽게 발명할 수 있는지를 심리한다. 그런데 특허취소신청절차에서의 의견제출통지서에 기재된 주 선행발명을 다른 선행발명으로 변경하는 경우에는, 일반적으로 특허발명과의 공통점 및 차이점의 인정과 그러한 차이점을 극복하여 특허발명을 쉽게 발명할 수 있는지에 대한 판단 내용이 달라지므로, 특허권자에게 이에 대해 실질적으로 의견제출의 기회가 주어졌다고 볼 수 있는 등의 특별한 사정이 없는 한 이미 통지된 취소이유와 주요한 취지가 부합하지 아니하는 새로운 취소이유에 해당한다(대법원 2019. 10. 31. 선고 2015후2341 판결 참조).

나. 구체적 판단

1) 2020. 3. 18.자 의견제출통지서에 기재된 취소이유

가) 2020. 3. 18.자 의견제출통지서(갑 제4호증)에는 아래와 같은 취지로 기재되어 있다.

(1) 선행발명 1 내지 4는 이 사건 특허발명과 기술분야가 공통되므로, 통상의 기술자는 선행발명 2에 나타난 부상 도포장치에 선행발명 1, 3, 4에 나타난 부가 구성들을 결합하여 정정 전 이 사건 제1항 발명을 도출하는데 기술적 어려움이 없다. 따라서, 정정 전 청구항 1은 선행발명 1 내지 4의 결합으로부터 쉽게 발명할 수 있는 것이다.

(2) 정정 전 청구항 5는 정정 전 청구항 1을 ‘상기 제1 및 제2 가대의 적어도 한쪽에, 상기 스테이지 블록의 부상면의 높이 위치를 조정하는 높이 위치 조정부를 구비’하는 것으로 부가 한정한 종속항 발명인데, 위 부가 한정 구성은 선행발명 1에 내포되어 있는 것으로 인정된다. 따라서 정정 전 청구항 5 역시 선행발명 1 내지 4의 결합에 의하여 쉽게 발명할 수 있다.

(3) 정정 전 청구항 6은 정정 전 청구항 1과 일부 구성을 제외한 모든 구성이 동일하게 나타나 있으므로, 정정 전 청구항 1과 마찬가지로 선행발명 1 내지 4의 결합에 의하여 쉽게 발명할 수 있다.

(4) 정정 전 청구항 10은 정정 전 청구항 6을 부가 한정한 종속항 발명인데, 위 부가 한정 구성은 정정 전 청구항 5의 부가 한정 구성과 동일하므로, 정정 전 청구항 10은 정정 전 청구항 5와 같은 이유로 선행발명 1 내지 4의 결합에 의하여 쉽게 발명할 수 있다.

나) 위에서 본 2020. 3. 18.자 의견제출통지서에 기재된 내용에 비추어 보면, 선행발명 2를 주 선행발명으로 선택한 후 이를 특허발명과 대비하여 공통점과 차이점을 확인하고, 특허발명과 선행발명 2를 대비한 결과 확인되는 구성의 차이는 ‘선행발명 1, 3, 4에 나타난 부가 구성들을 선행발명 2에 결합’하여 극복할 수 있다는 점을 취소이유로 명시적으로 기재하고 있다고 할 것이므로, 결국 2020. 3. 18.자 의견제출통지서에 의하여 통지된 취소이유는 ‘주 선행발명인 선행발명 2에 선행발명 1, 3, 4를 결합하여 정정 전 청구항 1, 5, 6, 10을 용이하게 발명할 수 있으므로 진보성이 부정된다’는 것으로 봄이 상당하다.

2) 이 사건 결정의 이유

가) 이 사건 결정(갑 제3호증)에는 아래와 같은 취지로 정정 후 청구항 1, 5, 6, 10의 진보성이 부정되는 이유가 기재되어 있다.

(1) 정정 후 청구항 1의 구성요소 1 내지 7 중에서, 구성요소 1, 2, 4, 5는 선행발명 3의 대응구성요소와 차이가 없고 구성요소 3, 6, 7은 선행발명 3의 대응구성요소와 차이가 있으나, 구성요소 3은 선행발명 3에 선행발명 2의 구성을 단순히 치환함으로써, 구성요소 6은 선행발명 3에 선행발명 1에 개시된 구성을 적용함으로써, 구성요소 7은 선행발명 1을 통하여 쉽게 도출하거나 극복할 수 있으므로, 정정 후 청구항 1은 선행발명 1 내지 3에 의하여 진보성이 부정된다.

(2) 정정 후 청구항 5는 정정 후 청구항 1을 부가 한정한 종속항으로서, 위 부가 한정 구성은 선행발명 1의 대응구성요소와 동일하므로, 선행발명 1 내지 3에 의하여 진보성이 부정된다.

(3) 정정 후 청구항 6은 정정 후 청구항 1과 일부 구성을 제외한 나머지 구성이 모두 동일하므로, 정정 후 청구항 1과 같은 이유로 선행발명 1 내지 3에 의하여 진보성이 부정된다.

(4) 정정 후 청구항 10은 정정 후 청구항 6을 부가 한정한 종속항으로, 위 부가 한정 구성은 정정 후 청구항 5의 부가 한정 구성과 동일하므로, 정정 후 청구항 5와 같은 이유로 선행발명 1 내지 3에 의하여 진보성이 부정된다.

나) 위에서 본 바와 같이 이 사건 결정은, 선행발명 3을 주 선행발명으로 선택한 후 이를 이 사건 특허발명과 대비하여 공통점과 차이점을 확인하고, 특허발명과 선행발명 3을 대비한 결과 확인되는 구성의 차이는 선행발명 1, 2에 개시된 구성을 치환하거나 적용하는 등의 방법으로 선행발명 3과 결합하여 쉽게 극복할 수 있다고 보아 그 진보성이 부정된다는 취지가 기재되어 있으므로, 이 사건 결정의 이유는 ‘주 선행발명인 선행발명 3에 선행발명 1, 2를 결합하여 정정 후 청구항 1, 5, 6, 10을 용이하게 발명할 수 있으므로 진보성이 부정된다’는 것이라고 할 것이다.

다) 이 사건 결정의 이유가 새로운 사유에 해당하는지 여부

앞서 본 바와 같이 특허발명의 진보성을 판단함에 있어서 특허발명과 가장 가까운 선행발명, 즉 주 선행발명을 선택한 다음, 특허발명을 주 선행발명과 대비하여 공통점과 차이점을 확인하며, 그 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 사람이 특허출원 당시의 기술수준에 비추어 이와 같은 차이점을 극복하고 특허발명을 쉽게 발명할 수 있는지를 심리한다. 그런데, 2020. 3. 18.자 의견제출통지서에 기재된 취소이유는 ‘주 선행발명인 선행발명 2에 선행발명 1, 3, 4를 결합하여 용이하게 발명할 수 있다’는 것이고, 이 사건 결정의 취소이유는 ‘주 선행발명인 선행발명 3에 선행발명 1, 2를 결합하여 용이하게 발명할 수 있다’는 것인바, 이 사건 결정의 이유는 의견제출통지서에 기재된 주 선행발명을 다른 선행발명으로 변경한 경우라 할 것이다.

라) 실질적으로 의견제출의 기회가 주어진 것이라 볼 수 있는지 여부

(1) 앞에서 본 바와 같이 특허취소신청 사건에서 심판장은 ‘주 선행발명인 선행발명 2에 선행발명 1, 3, 4를 결합하여 용이하게 발명할 수 있으므로 진보성이 부정된다’는 취지로 의견제출통지를 한 사실이 인정될 뿐이고, ‘주 선행발명인 선행발명 3에 선행발명 1, 2를 결합하여 용이하게 발명할 수 있으므로 진보성이 부정된다’는 취지의 의견제출통지가 이루어진 바 없다.

(2) 한편, 2020. 3. 18.자 의견제출통지서에 ‘선행발명 1 내지 4의 결합에 의하여 진보성이 부정된다’는 기재가 있고, 피고는 이를 근거로 위 의견제출통지서에는 ‘선행발명 2를 주 선행발명으로 하는 경우 뿐만 아니라 선행발명 1, 3, 4 각각을 주 선행발명으로 하여 나머지 선행발명들을 위 각 주선행발명에 결합함으로서 용이하게 발명할 수 있다’는 취지의 취소 이유가 내포되어 있는 것으로 보아야 한다고 주장한다.²⁾ 그러나 ‘선행발명 1 내지 4의 결합에 의하여 진보성이 부정된다’는 기재는 앞서 본 바와 같이 선행발명 2를 주 선행발명으로 선택하여 특허발명과의 차이점을 추출한 후 그 차이를 선행발명 1, 3, 4에 개시된 대응구성요소를 선행발명 2에 결합함으로써 쉽게 극복할 수 있다는 취지로 해석될 뿐이고, ’선행발명 3을 주 선행발명으로 하여 여기에 선행발명 1, 2를 결합하여 쉽게 이 사건 특허발명에 이를 수 있다‘는 취지 등이 포함되어 있다고 해석될 수 없다. 만일 위 기재를 ’선행발명 1 내지 4의 가능한 모든 조합에 의하여 진보성이 부정된다‘는 취소이유를 통지한 것으로 해석한다면, ’선행발명 1 내지 4의 결합에 의하여 진보성이 부정된다‘는 한 문장의 취소이유로서 무려 28개의 상이한 조합에 의한 취소이유가 모두 통지된 셈이나 다름이 없고³⁾, 이는 결국 특허권자로 하여금 28개의 상이한 취소이유가 통지된 것으로 보아 각각의 취소이유를 극복하기 위한 의견의 제출 및 보정 등의 조치를 요구하게 하는 것으로서 지나치게 가혹할 뿐만 아니라 특허권자의 절차적 권리를 보장하고자 하는 특허법 제132조의13의 규정의 취지를 몰각하는 것이라고 할 것이어서 허용될 수 없다. 따라서, 피고의 위 주장은 이유 없다.

(3) 원고가 2020. 3. 18.자 의견제출통지서를 송달받은 후 특허심판원에 제출한 2020. 7. 7. 의견서(갑 제5호증)에는 이 사건 특허발명을 선행발명 2와 대비하여 그 차이점(차이점 1, 2)을 추출한 후 그 각 차이점에 해당하는 구성이 선행발명 1, 3, 4의 어디에도 개시되어 있지 않으므로, 선행발명 2에 선행발명 1, 3, 4의 구성을 결합하더라도 이 사건 특허발명은 도출되지 않는다는 취지의 주장이 기재되어 있을 뿐이다. 즉, 원고는 선행발명 3을 주 선행발명으로 하여 이에 선행발명 1, 2를 결합하여 용이하게 도출할 수 있어 그 진보성이 부정된다는 취소이유에 대응하여 이를 반박하는 취지의 의견을 제출한 바 없다.

(4) 따라서, 선행발명 3을 주 선행발명으로 하여 선행발명 1, 2의 구성을 결합함으로써 이 사건 특허발명을 용이하게 발명할 수 있다는 취지의 이 사건 결정의 이유는 특허권자인 원고에게 실질적으로 의견제출의 기회가 주어진 것이라 볼 수 없다.

마) 기타 피고 주장에 대한 판단

피고는, 주 선행발명을 선행발명 2에서 선행발명 3으로 변경하더라도 이 사건 특허발명의 특징적 구성이자 선행발명 2, 3과의 주요한 차이점에 해당하는, ‘밀어 올림 부상 영역에 분출구만을 배치하여, 밀어 올림 부상 영역에서의 분출 압력이 정밀 부상 영역에서의 분출 압력보다 높게 설정’되는 구성이 선행발명 1로부터 쉽게 도출 가능하다는 점은 달라지지 않으므로, 이 사건 결정의 이유는 2020. 3. 18.자 의견제출통지서에 기재된 취소이유와 주된 취지에서 부합한다고 주장하나, 아래와 같은 이유로 위 주장은 받아들이지 아니한다.

(1) 선행발명 2는, 스테이지(76) 표면에 형성된 분출구와 흡인구의 배치 형태가 반입영역, 도포영역, 반출영역 및 천이영역에 걸쳐 달라지기는 하지만, 반입영역, 도포영역, 반출영역을 형성하는 스테이지가 각각 분할되어 형성되어 있지는 않다. 따라서 선행발명 2를 주 선행발명으로 하는 경우에는 이 사건 특허발명과 선행발명 2는 ‘각 스테이지가 물리적으로 분할되어 형성되어 있는지 여부’에 차이가 있다.

(2) 선행발명 3은 연장 부상스테이지부(3, 4)과 검사용 부상스테이지부(2)가 물리적으로 분할되어 형성되어 있으므로, 주 선행발명을 선행발명 3으로 하는 경우에는 이 사건 특허발명과 선행발명 3은 ‘각 스테이지가 물리적으로 분할되어 형성되어 있는지 여부’에 있어서는 차이가 없다. 다만, 선행발명 3은 기판을 검사하는 검사 장치에 관한 것으로서, 기판 표면에 처리액을 도포하는 도포 장치에 관한 이 사건 특허발명과 ‘부상 유닛이 적용되는 장치의 용도’가 상이하다는 차이가 있다.

(3) 따라서, 주 선행발명을 선행발명 2를 할 것인지 아니면 선행발명 3으로 할 것인지에 따라 이 사건 특허발명과의 공통점 및 차이점의 인정 및 이를 다른 선행발명들과 결합하는 것이 용이한지 등을 비롯하여, 위 차이점을 극복하고 이 사건 특허발명을 용이하게 발명할 수 있는지에 대한 판단 내용이 달라지게 된다고 할 것이다. 이와 같은 차이에도 불구하고 이 사건 결정의 이유가 2020. 3. 18.자 의견제출통지서에 기재된 취소이유와 주된 취지에 부합된다고 보기는 어렵다.

다. 소결

따라서 이 사건 결정에는 특허권자에게 의견 제출의 기회를 부여한 바 없는 사유를 들어 이 사건 특허발명에 대한 특허를 취소한 절차상 하자가 있다고 할 것이므로, 나머지 점에 대하여 더 살펴볼 필요 없이, 이 사건 결정은 위법하다.

4. 결론

그렇다면 이 사건 결정의 취소를 구하는 원고의 청구는 이유 있어 이를 인용하기로 하여 주문과 같이 판결한다.